陶瓷表面金属化残余气体分析

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)东南大学电子科学与工程学院显示中心 作者:王辉

陶瓷表面金属化残余气体分析

王辉,肖梅,张晓兵

(东南大学电子科学与工程学院显示中心 南京 210096)

  摘要:在真空系统中,残余气体是影响真空工艺性能及真空器件寿命的重要因素。陶瓷是一种疏松的原材料,在加工陶瓷材料的过程中,容易吸附各种各样的杂质。

  实验采用的两种金属化陶瓷样品,基底均为素烧氧化铝陶瓷,一是先进行过高温金属化镀银后电镀金样品,二是化学镀Ni的样品。使用四极质谱计对加热前后的样品进行测试,分析放气特性。

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