如何有效的降低真空系统漏气率的措施(3)

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    氟橡胶是一种具有耐高温、耐各种介质的密封材料。各种气体在氟橡胶中有较小的扩散速度和较大的溶解度,透气性很小,如表3-2所示,在高温、真空中放气速率很低(在2.6 X lO-7Pa的失重为2.3%),可用于10-6 ~ lO-7Pa的真空密封;采用合理的密封结构,烘烤到200oC,并加上冷却措施,可达到lO-8Pa的高真空。氟橡胶的稳定性能也相当好,在低于200oC的温度下可以长时间工作。缺点是价格昂贵,通常只限于需要烘烤的高真空及超高真空系统中。根据表 3-1 ~表 3-3所表述的情况,选用氟橡胶密封材料。

静密封结构的选择

    各种真空系统中,80%以上的密封为静密封,静密封效果的好坏,对系统的真空度及漏气率有很大的影响。因此,要对静密封结构进行认真设计,以达到理想的效果。

    对静密封结构的设计,主要考虑如何选择主要密封面、如何减小残留气体及如何充分发挥橡胶密封圈功能。

    无论是矩形密封槽、燕尾型密封槽还是梯形密封槽,其槽底较小的粗糙度容易获得为主要密封面,而其侧面则较小的粗糙度往往不易获得。同时,为了消除残留气体,在存在残留气体处设计了贯通孔,使系统内部各处畅通无阻。

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