真空系统的设计中的主泵的选择(3)

2008-10-13 鬼马 真空技术网整理

    ③粗算主泵的抽速S
    由于在选定主泵之前,真空室出口到主泵入口之间的管路没有确定,因而这段管路的流导C是未知数。根据式(2)无法计算主泵的抽速S。通常按经验公式(44)粗算主泵的抽速。

    ④验算主泵的抽速
    根据粗选出的主泵的入口尺寸。选择确定主阀、捕集器和连接管道,划出主泵入口至真空室出口之间管路草图。利用流导计算公式计算出被抽容器出口到主泵入口之间高真空管路的流导C,再按式(2a)计算粗选主泵对真空室出口的有效抽速Se,若Se大于或等于被抽容器所要求的有效抽速Sey则认为粗选的主泵的大小合乎要求,否则应重新粗选主泵,再进行验算,直至合乎要求为止。