真空系统的设计中的主泵的选择(2)

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)真空技术网整理 作者:鬼马
真空系统的主泵抽速大小的确定#e#

    (2)真空系统的主泵抽速大小的确定

    主泵的类型选定之后,接下来就是要具体地确定主泵抽速的大小规格。主泵抽速大小的确定主要根据被抽容器的工作真空度和其最大排气流量,以及被抽容器的容积和所要求的抽气时间。

    ①真空室内排气流量的计算

    在正常的工艺过程中,真空室内所产生的气流量应当由主泵及时抽走,以保证真空室内的压强符合工作真空度的要求。工艺过程中的气流量可用式(38)计算。
    以上各量在不同的真空应用设备中不一定都存在,这要根据不同情况具体考虑。

抽气时间计算公式

    a.Qg的计算
    就真空熔炼来说,被熔炼材料工艺过程中的放气流量Qg的计算是以实验数据为基础进行的。当给出材料单位质量含气量在标准状态下的体积时可用式(39)计算。
    当给出材料在熔炼或处理前后化学成分的变化时用式(40)计算。

    b.Qn的计算
    某些真空设备的真空室内要求加热到较高的温度。真空室内必须使用耐火保温材料,如碳毡、碳布、硅酸铝纤维等材料,其放气量的计算如式(41)。

    c.Qf的计算
    暴露于真空下各种构件材料表面的放气流量用式(42)计算。

    在利用式(38)计算真空室内的总排气流量时,对于某一种确定的真空设备,要根据具体情况而定,如有的设备没有用耐火保温材料,则不必计算Qn这一项。有些材料的放气量实验数据无处可查,则可以采用与其相类似材料的放气量数据作为代替。漏气流量Qt的计算用式(28)。
    ②被抽容器所要求的有效抽速的计算    设被抽容器内的最大排气流量为Q Pa·m3/S,所要求的工作真空度为PgPa,则被抽容器所要求的有效抽速Sey为式(43)。

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