真空系统栏目简介

一个完整的真空系统的组成真空应用设备种类繁多,真空系统栏目主要讲述真空系统设计中的主要参数,抽气时间的计算,出气对真空系统的影响,真空抽气机组的选型,超高真空系统设计等方面知识。

NBI综合测试台真空监控系统设计

本文设计完成的以西门子为控制核心的NBI综合测试台真空监控系统在抽气性能测试时检测、记录实验分析数据,在实验过程中完成进气流量和真空压力的实时监控和保护。

粘滞流时流导的计算方法
介绍粘滞流时薄壁孔、圆孔和圆截面管道对室温空气的流导计算。
流导和流导几率的概念和计算公式
流导是指在单位压差下,流经管路元件气流量的大小。流导几率也称为传输几率,其物理意义是气体分子从元件的入口入射进入元件能从管路元件的出口逸出的概率。
气体流动状态的判别方法
在真空系统管路中的气流有五种流动状态:湍流(又称紊流、涡流);湍-粘滞流;粘滞流(又称层流、粘性流、泊稷叶流);粘滞-分子流;分子流(又称自由分子流、克努森流)。湍-粘滞流是湍流和粘滞流之间的过渡状态。粘滞-分子流是粘滞流和分子流之间的过渡状态。
真空系统最重要的性能参数计算方程
真空系统最重要的性能参数是极限真空度和有效抽速。极限真空度是指在没有外加负荷的情况下,经过足够长时间的抽气后,系统所能达到的最低压力。有效抽速取决于真空泵的抽速和流导。
一个完整的真空系统的组成
一个较完善的真空系统应该包括抽气系统、真空阀门、连接管道、真空测量设备,这样才能组成获得有特定要求的真空度的抽气系统。