真空系统栏目简介

一个完整的真空系统的组成真空应用设备种类繁多,真空系统栏目主要讲述真空系统设计中的主要参数,抽气时间的计算,出气对真空系统的影响,真空抽气机组的选型,超高真空系统设计等方面知识。

低温真空测试系统的研制

为了满足在低温下固体和涂层材料物理性能参数的测量,研制出一套低温真空测试系统。低温真空测试系统主要包括四个部分:真空容器、真空系统、制冷系统和测控系统。

升压法测量小孔流导装置与测量原理
对于形状规则的小孔的流导可以通过理论计算得到, 对于尺寸无法准确测量的小孔, 其流导只能通过实验的方法测量得到。测量方法通常有恒压法、定容法和线性真空规法。测量流导的装置主要由气体流量计、定容室、抽气系统、测量系统等组成。
真空校准装置的极限真空度获得方法
从极限真空度的测试结果看, 选择磁悬浮涡轮分子泵与NEG 泵组合方案, 在XHV 校准室中获得了10-10Pa 量级的极高真空度, 达到了预期效果, 为实现超高/极高真空校准奠定了基础。
真空校准装置的分流法原理
流量分流法基本思想,即将气体微流量计提供的气体流量引入到一个分流室中,然后再通过分流室上两个分子流流导相差100~1000 倍的小孔将气体流量分流到XHV校准室和UHV校准室中, 这样当UHV 校准室中的校准下限为10-7时,XHV校准室中的校准下限为10- 9~10- 10 Pa。
分流法超高/极高真空校准装置的组成
分流法超高/极高真空校准装置主要由极高真空(XHV)系统、超高真空(UHV)系统、流量分流系统三部分组成,本文详细介绍了这三部分系统的工作原理。
玻璃制扩散泵真空系统
扩散泵开始工作之前, 必须先开动机械泵抽气 达到预备真空,便使用电炉对扩散泵蒸发器中的油进行加热, 扩散泵油开始沸腾, 油蒸汽开始顺向每一级喷口定向喷发, 形成射流。
储存环的真空抽气系统
储存环真空系统能够正常运行。随着积分流强的增加,由同步辐射光引起的气体解吸量逐渐减小,动态真空变好。当积分流强达到100A·hr时,单位流强引起的压强上升小于1×10-10Pa/mA。真空系统运行稳定,在8个多月的运行中,没有发生真空设备故障。
真空系统的最大可容许漏率
真空系统的最大可容许漏率计算公式。
真空系统的构成
真空系统的压力比周围的大气压低,因此必须要有一个密封的容器。这个容器被称为真空腔。要使真空腔内成为真空状态,必须使用排气泵来排气。因此真空腔和排气泵即成为最单纯的真空设备例子。
如何有效的降低真空系统漏气率的措施
在真空系统的设计中,提高系统的密封性,降低系统的漏气率是我们一直追求的目标,经过对真空室内部结构、密封形式、密封件材质、静密封结构等方面的精心选择与设计,提高了真空系统的密封性能,加快了抽气速度,缩短了抽气时间,减小了漏气率。
激光陀螺研制中的超高真空技术
激光陀螺是迄今为止在惯性技术领域唯一真正获得了卓有成效的实际应用的非机电式中高精度惯性敏感仪表。它具有稳定性好、精度高、动态范围宽、寿命长等诸多优点。而超高真空的获取是激光陀螺制造过程中至关重要的环节。在激光陀螺的密封、抽真空、检漏、等离子清洗等过程
几种典型的超高真空系统图
本文介绍了几种典型的超高真空系统图:用扩散泵和钛泵并联为主泵,扩散泵单独串联前级机械泵、由扩散泵串联扩散泵,再串联机械泵、主泵为分子泵串联机械泵、用钛泵或溅射离子泵做为主泵、用低温泵做为主泵等等超高真空系统。
几种典型的高真空系统图
本文介绍了几种典型的高真空系统图:扩散泵串联机械泵、扩散泵串联油增压泵再串联机械泵、扩散泵串联罗茨泵,再串联机械泵的真空系统。
典型的中真空系统图
中真空系统一般是由两个以上的泵串联组成的:油增压泵串联机械泵、罗茨泵串联机械泵、罗茨泵串联小型罗茨泵再串联机械泵、以油增压泵和罗茨泵为主泵,两个泵出口串联罗茨泵.再串联机械泵等等真空系统。
真空系统设计中应该注意的问题
真空系统的设计有许多要注意的事项:机械泵用软管减振、真空元件和真空泵等相互联接时,应尽量作到抽气管路短,管道流导大,导管直径一般不小于泵口直径等等
储气罐和维持泵的选择与作用
停止前级泵工作,关闭前级管道阀门,在主泵出口处设置维持泵或储气罐,这就可以保证即能排出主泵内的气体,又可以节省能源消耗。使用维持泵或者储气罐即能大量节约能源,又能减小环境噪音。