真空机组的选型

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)东北大学 作者:巴德纯

1、真空机组的构成与分类

  真空机组一般由下列元件构成:各种真空泵;真空测量装置;真空阀门;真空管道和一些其它元件,例如扑集器、真空接头、储气罐、波纹管、除尘器和真空继电器等。

  按机组的工作压力分,有粗真空机组(>1330Pa);低真空机组(1330~0.13Pa);高真空机组(0.13~1.3×10-6 Pa);超高真空机组(1.3×10-6~1.3×10-11 Pa);极高真空机组(<1.2×10-11 Pa)。

  具体真空区域划分规则请参考:真空区域的划分及其物理特性

2、低真空机组

  低真空机组的主要特点是工作压力高,排气量大,但抽速比高真空机组低。多用于真空室的粗抽以及放气量很大,工作压力较高的真空输送、真空浸渍、真空过虑、真空脱气、真空干燥等装置中。低真空机组的主泵常用往复式真空泵、油封真空泵、水喷射泵、水蒸汽喷射泵、水环泵、油蒸汽喷射泵、分子筛吸附泵和罗茨泵等。使用低真空机组,还需要根据被抽气体的清洁程度、湿度等工艺要求,配置除尘器、干燥过虑器等元件。

3、高真空机组

  ①选好主泵,主泵有扩散泵分子泵、溅射离子泵、钛泵、低温泵等。

  ②选好预抽泵、储气管(防震、缩短工作周期、防止真空室内瞬间大量放气、稳定扩散泵出口压力)

4、超高真空机组

  主泵极限真空度要高、漏气率要低、耐200~450℃烘烤。

  ①扩散泵机组:降低返流、控制污染;

  ②分子泵机组:对氢压缩比小,残余气体主要是氢;

  ③溅射离子泵机组:通常与钛泵联合使用;

  ④低温泵机组:无污染。

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