磁力传动真空动密封在真空获得设备及容积式真空泵上的应用

　　磁力传动密封装置在各种真空设备上的应用已经十分广泛。它不但可以将动密封转化为静密封，而且还可以作为机械手通过手动或机动等方式实现向真空容器中传递各种不同运动，其安装的结构形式多为卧式。传递的力或转矩以及直线运动的位移，可根据各种要求进行磁路的结构设计。目前在各种不同用途的真空设备中传递的力矩最大已达到1300 N·m，转矩为110 N·m，直线或螺旋线运动的最大位移量为1.8 m，现在就几种真空设备上采用的磁力传动密封装置介绍如下。

在真空获得设备及容积式真空泵上的应用

　　国内生产的旋片式、滑阀式、余摆线式等容积式真空泵，其转轴多采用O 形橡胶圈进行密封，泵在工作中由于机械摩擦和振动等原因不但易于漏气和污染真空环境而且使用寿命短，需经常更换橡胶密封件。采用磁力传动密封装置后的容积式真空泵不但在结构上取代了传递精度低、振动大、轴与轴承受力不均的皮带轮传递，而且在减小泵体积的同时，也实现了电机与泵的直连。图10、图11 分别给出了旋片式机械真空泵、滑阀式机械真空泵两种不同密封结构比较。

1. 轴承组件; 2. 内磁转子; 3. 外磁转子; 4. 隔离密封套; 5. 支撑架; 6.皮带轮; 7.端面密封圈; 8- 气体通道

图10 旋片式机械真空泵两种不同密封结构比较

1. 轴承组件; 2. 内磁转子; 3. 外磁转子; 4. 隔离密封套; 5. 支撑架; 6.皮带轮; 7.橡胶密封组件

图11 滑阀式机械真空泵两种不同密封结构比较

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