干式真空泵栏目简介

干式真空泵即无油干式机械真空泵简称干泵,主要分为干式螺杆真空泵和涡旋式干两种,干式真空泵栏目重点讲述了干泵的工作原理、干式真空泵的噪声等干泵相关知识。

高真空干泵螺旋级抽气性能的数值计算模型

本文根据单螺旋转子的特点,建立了单螺旋转子的几何模型,并采用DSMC方法分析其抽气过程,模拟分子流态下气体分子在泵内的运动情况。

半导体工艺中应用干式真空泵的几种选择类型
根据在机械结构设计上有明显差异,因此可以将干式真空泵归纳为以下几种类型:圆裂片式、爪式、组合式(罗茨+爪)、螺杆式,其中前三种被称为多级泵。