无油涡旋真空泵技术的发展与应用(4)

5．无油涡旋真空泵的检查与维护

(1)检查与维护注意事项

　　①.无油涡旋真空泵为防止碎屑在泵中沉积，每天抽大气几次，每次3～5秒。
　　②.要注意高温，在泵足够冷却后，再进行检查与维护。停泵后立即维修可能引起烧伤。
　　③.检查与维护之前一定要切断电源。否则可能引起电击或被旋转物伤害。
　　④.如果安装与工作条件差、工作环境温度超过规定，请缩短维护间隔。环境温度是泵失效的主要影响因。标准维护间隔是以环境温度5～40℃，年平均温度25℃为基础制定的。

(2)检查与维护内容要点

6.故障诊断与排除

　　几年来用户在无油涡旋真空泵的使用过程中，陆续发现了各种问题，也总结了问题解决的方法。归纳起来，不外乎下述各种。如果出现故障，可以参照下表排除之。如果自己不能解决问题，可以联系卖泵的经销商和生产单位。同时笔者欢迎用户提出使用中的问题，以利于无油涡旋真空泵的进一步改进。

七、结束语

　　国内以半导体、电子工业为代表的制造工艺当中和科学研究与分析测试行业迫切需要无油污染的清洁真空环境，但是清洁真空获得设备如冷凝泵、柱赛泵、爪式泵、涡旋泵以及隔膜泵等目前都没有形成可*先进的批量国产产品。进口无油涡旋真空泵作为一种新产品，由于本文前述的价格、市场的开拓和用户的认识程度等原因，没有形成良性循环。这样，一方面是迫切的市场需求，另一方面从价格与技术双方面看没有合适的产品，造成了极大的市场缺口。

　　毫无疑问价格适中、性能可靠的无油涡旋真空泵将成为适合中国市场要求产品的主流,大力发展涡旋无油真空泵势在必行。研制符合中国市场要求的涡旋类及其它无油真空泵系列产品及其检测技术手段也成为中国真空获得行业进一步发展的一个契机。

无油涡旋真空泵故障诊断表

　　为解决我国科学研究和新材料、半导体等行业发展面临的技术手段存在的基础、共性问题，近年来已经不断有业内专家向国内介绍涡旋无油真空泵技术及其发展现状，国外涡旋无油真空泵生产厂家与代理对中国市场的开发使其在中国市场的销量在逐年增长。国内真空行业相关企业也开展了基础、应用研究及小规模试制无油涡旋真空泵生产等不同阶段的探索，只是由于技术基础、激励机制、研发手段、资金投入的限制，研发工作进展不是非常快。产品质量、稳定可*性、以及技术推广与市场开拓规划、原则、手段等也是问题。因此无油涡旋真空泵系列产品下一步产业化技术研发与市场开发是企业必须解决的两大问题。随着研发手段、资金投入、市场开拓问题的解决，无油涡旋真空泵将会打开市场，从而提高整个真空获得行业的技术水平。成功的无油涡旋真空泵系列产品研发与市场开发模式也将为我国其他清洁真空获得设备如冷凝泵、柱塞泵、爪式泵以及隔膜泵等提供有效的借鉴。