无油涡旋真空泵技术的发展与应用(3)

来源:真空技术网(www.chvacuum.com) 上海市真空学会成立20周年暨第九届学术年会 作者:宁宪宁

六、无油涡旋真空泵的使用

1.安全注意事项

  使用前与使用过程中应当注意的安全事项包括:

  ·无油涡旋真空泵的抽气范围(用于抽洁净气体。不能抽有毒、易燃、易爆、腐蚀性气体、化学品、溶剂及粉末等)。
  ·安装要求(安装在没有易燃、易爆物品、避雨、无蒸汽的安全场所)。
  ·安装在水平面上(倾角小于5。)。周围无灰尘、无铁屑、石块或木块。
  ·一定要安全接地。一定要安装紧急制动开关。接线要由合格的电工完成)。
  ·在合适的工作环境温度(5~40℃)内工作。
  ·正确安装使用(接线或检查时必须切断电源,不能将手指或其他物品放人泵的气孔或冷却翅片的间隙中)。
  ·正确维修检验(根据本说明书要求定期检查,泵彻底冷却后再进行维护与检验工作;由专业人士维修,不能改造此泵)。

2.安装方法

  安装前要认真检查下述各项:

  ①.检查确认包装放置方向正确。
  ②.检查确认产品为订购的型号。
  ③.检查确认无破损。
  ④.泵运转时拆掉进气口与排气口法兰。如果连续带法兰工作,会对泵引起损害。

  安装时应注意:

  ①.安装在避雨、无蒸汽的场所,避免电击危险;
  ②.安装在通风良好、隔绝爆炸物、无腐蚀性和易燃气体及其他有关物体处。
  ③.安装在坚实、平整面上(倾角小于5。),阳光不能直射处。
  ④.在规定环境温度范围(5-40℃)内工作。

  要在真空室和进气口连线上安装截止阀和排气阀。这些阀用于开关无油涡旋真空泵时阻止泵中积存的碎屑被抽回真空室中。开关泵时要先关闭截止阀。连接管路一定要洁净。建议使用软管连接,这样泵的振动不会传到真空室。连接排气管时要注意管的长度和尺寸。建议排气管长不超过15米,内径25mm。注意泵工作时排气管不能堵塞。注意排气压力不能超过大气压。

  连线时必须首先断开电源,由合格的电工连线。泵必须提供外部保护,如8L/s泵最小电路容量为单相、18A,最大分路电流断路器容量为15A。一定要安装推荐容量的电流断路器以避免电机烧毁,电线和地线截面积一定要超过2mm2。否则会引起损害或火灾。与电机接线端子连接的电线要配适当的圆圈形接头。一定要接地。否则可能引起电击或人身伤害。交货时连线电压为单相,220伏。

3.无油涡旋真空泵的操作——抽干燥气体

  无油涡旋真空泵在初次启动或者长期不用时达到极限真空需要较长时间。应在关闭进气阀状态下连续抽气6—8小时,每小时打开进气阀2~3次,每次3~5秒。如果泵抽水或者高湿度气体(相对湿度>;60%),水汽可能残留在泵中降低泵的性能。这时关闭泵与系统之间的截止阀,启动泵,运转时打开进气阀进大气几次,每次3—5秒,可以将泵中的水汽排出。泵工作时要拆去进气口法兰和排气口法兰,否则会对泵有损害。泵启动和关闭时要关闭截止阀,否则开关泵时泵中积存的碎屑会被抽回真空室中。重新启动泵时,启动前要开启进气阀进大气3—5秒,否则会造成泵中温度不平衡,导致泵失效。

  无油涡旋真空泵的启动步骤包括:

  ①.关闭截止阀(以免泵中积存的碎屑会被抽回真空室中(带漏气阀开寸耍开启漏气阀));
  ②.打开泵开关;
  ③.开启截止阀(检查确认真空泵已开启,使用漏气阀时要关闭漏气阀,抽真空室)。

  停泵步骤包括:

  ①.关闭截止阀(避免泵中积存的碎屑被抽回真空室);
  ②.关闭泵开关。

4.无油涡旋真空泵的操作——抽水汽

(1)抽水汽注意事项

  无油涡旋真空泵的维护标准是以抽洁净气体为基础制定的,抽水汽标准不同。因此要注意下述各点:

  ①.抽水蒸汽泵的维护时间间隔必须缩短,因为水汽的温度、抽除量、抽除频率和水汽中物质成份对泵的工作都有影响。

  ②.抽水蒸汽时,要在规定温度下工作,进气温度必须低于50℃。当被抽气体温度高于50℃时,应当在无油涡旋真空泵与真空室之间的连接管路上安装冷却器或冷阱,以降低进气温度,使之低于50。进气温度高于50℃会对无油涡旋真空泵造成损害。

  ③.抽水汽时要加气镇阀,无油涡旋真空泵抽水蒸汽会导致水汽在泵内凝结。凝结的水汽会引起泵极限真空度降低,或者对泵造成损害。气镇阀不仅能抽水汽,还能维持极限真空。

(2)气镇阀的使用注意事项

  所谓气镇阀及其作用概念非常简单,就是在容积式真空泵的压缩室上开一小孔,装上一个调节阀。打开此调节阀启动无油涡旋真空泵,当动涡旋盘转动某一位置时,空气就通过小孔掺人压缩室以降低压缩比,从而使大部分水蒸气不至于凝结,和掺入的气体一起被排出泵外。这样就达到了抽水蒸汽的目的。而这个调节阀就是气镇阀。气镇阀的使用注意事项包括:

  ①.抽水汽时,必须开启气镇阀抽气。如果气镇阀关闭抽气,水汽会在泵内积结,对泵造成损害。
  ②.抽水汽后,必须在开启气镇阀状态下再抽气超过l小时,如果抽水汽后立即关闭气镇阀,水汽会在泵内积结,对泵造成损害。
  ③.当给气镇阀口充氮气或干燥大气时,要将压力控制在大气压内,流量小于10NL/min,气压高会对泵造成损害。
  ④.当被抽真空室内湿度高于60%时,—定要开启气镇阀。
  ⑤.一定要在泵开启前、关闭后,开启和关闭气镇阀,千万不能在泵工作过程中关闭气镇阀。泵工作时改变气镇阀工作状态(开启或关闭)会使泵损坏,造成人身伤害。

(3)抽水汽时泵的操作

  抽水汽时,泵的启动步骤包括:

  ①.关闭截止阀(以免开关泵时泵中积存的碎屑会被抽回真空室中(带漏气阀时要开启漏气阀));
  ②.打开气镇阀(拆下丝堵,换上气体过滤器即可);
  ③.打开泵开关;
  ④.开启截止阀(检查确认真空泵已开启,使用漏气阀时要关闭漏气阀,抽真空室)。

  抽水汽时,停泵步骤包括:

  ①.关闭截止阀(避免泵中积存的碎屑被抽回真空室;
  ②.关闭泵开关;
  ③.关闭气镇阀(结束气镇阀工作时,拆下气体过滤器,用扳手轻轻拧上丝堵)。

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