无油涡旋真空泵的优点使用(3)
2．无油涡旋真空泵解决了污染与振动等基础、共性问题
由于普通旋片油泵的漏油、噪声、返油污染、高能耗以及振动等问题给用户造成不良影响，如生物制品行业与半导体行业的油蒸汽污染与工艺系统返油问题。真空镀膜设备的镀膜工艺中，在20～40Pa真空条件下镀膜时，如果应用普通旋片机械真空泵作为前级真空泵将对镀膜工艺设备造成污染，影响成膜质量。半导体晶片制造工艺当中使用油泵与使用于泵相比，成品率存在明显的差距，并且排出的油雾蒸汽对环境也有污染.科学仪器行业尤其是在分析测试仪器行业，采用油泵对测试结果将造成不良影响。大型同步辐射光束线上采用无油涡旋真空泵作为前级真空泵的作用也相当明显。另外无油涡旋真空泵消除了普通油泵的漏油给用户带来的环境污染与烦恼。现有无油涡旋真空泵用户的使用情况也证明了这种泵的优越性和可*性。
3.无油涡旋真空泵使系统制造与运行成本降低
为防止普通旋片油真空泵对真空系统的返油污染,需要在抽气系统中加冷阱捕获油分子；系统运行过程当中还需要定期清洗除油；有的需要定期更换真空泵油.采用无油涡旋真空泵第一部需要加冷阱之类捕油机构、第二不需要更换真空泵油、第三振动更小、运行更平稳、第四能耗降低、第五重量更轻、第六突破了油泵使用范围的限制。这些优点使无油涡旋真空泵成为普通旋片油真空泵的更新换代产品。
五、无油涡旋真空泵的结构
无油涡旋真空泵主要部件为涡旋盘付\曲轴和密封垫.该泵的抽气——压缩——排气机理是在动、静涡旋盘相互不接触的情况下，依*动、静涡旋盘相对转动形成吸气腔和压缩腔，将被抽气体排出，连续完成吸气、压缩和排气过程。在充分考虑抽气过程中发生热交换的情况下，尽量减少动、静涡盘问的径向和轴向间隙,可以提高抽速和极限真空度。
针对无油涡旋真空泵结构上存在着的运转过程中水分和杂质易积聚和轴承易磨损的弱点,加气镇阀是必要的选择。
结构上的改进主要有两点：
①．加气镇阀使极限真空度保持要求值——进气压力O.03MPa(G)以下，流量lOL/min以下。
②．轴承端面加双侧密封圈密封，有效防止轴承磨损。
在无油涡旋真空泵的设计过程中，需要解决的问题包括：
①．涡旋泵的CAD设计一一型线方程的确定及修正，初始角修正，运动模拟；
②．涡旋盘的加工一一加工精度、加工工艺间隙的大小：抽速、极限真空度；
③．涡旋盘的表面处理一一耐腐蚀、润滑、硬度、处理工艺、表面均匀性；
④．密封垫材料的选择与加工——密封垫要求有弹性、耐磨、不产生微粒。
六、无油涡旋真空泵的使用
1．安全注意事项
使用前与使用过程中应当注意的安全事项包括：
无油涡旋真空泵的抽气范围(用于抽洁净气体。不能抽有毒、易燃、易爆、腐蚀性气体、化学品、溶剂及粉末等)。
安装要求(安装在没有易燃、易爆物品、避雨、无蒸汽的安全场所)。
安装在水平面上(倾角小于5。)。周围无灰尘、无铁屑、石块或木块。
