分子泵油

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)真空技术网整理 作者:鬼马

  分子泵是一种动量型真空获得设备,在分子流态下,气体分子与高速运动的表面发生碰撞获得一定方向的动量,从而使气体分子得到逐级压缩,最后被抽除。

     1) 分子泵有三个类型:牵引型分子泵, 涡轮分子泵, 复合型分子泵,按制造结构分类:油润滑、脂润滑、磁悬浮--单磁永磁悬浮、全磁悬浮。

     2) 分子泵的特点

  连续抽除气体,节省能源,可获得清洁的真空

  油润滑分子泵:润滑油量小,且在前级真空段,对真空室污染小。

  脂润滑分子泵:油脂量极小,前级配干泵可获得近似无油的清洁真空。

  全磁悬浮分子泵:无须润滑,与干泵一起使用,可获得无油的清洁真空环境。

分子泵油的特性

  1.分子泵油应该具有极低的饱和蒸汽压,使设备能迅速获得较好的极限真空;

  2.分子泵油应该具有优异的低温性能,在高低温状态下操作性能优良;

  3.分子泵油应该具有优良乳化特性和油水分离性;

  4.分子泵油应该具有良好热安定性,在长期高温摩擦状态下能保持良好的使用性;

  5.分子泵油应该具有优良的润滑性,泵启动容易,能耗低,使设备减少磨损保持清洁。

分子泵油的用途

  工业工艺过程(装饰、ITO、PVD、晶振、玻璃镀膜,照明、真空炉排气)科研、军工装备仪器、设备半导体工业。制灯,玻璃镀膜,柔性太阳能电池设备:在电子、电力、真空设备、低温容器、压力容器等领域都会用到分子泵和检漏仪。

分子泵油的质量指标

分子泵油的质量指标

分子泵油的更换和维护

  1) 为保证分子泵轴承有良好润滑,应定期更换分子泵油。

  分子泵润滑油是一种低饱和蒸汽压的专用润滑油,应使用厂家指定的分子泵油。不得使用其他泵油替代。

  2)分子泵油更换时间

  对于油润滑分子泵,在初次使用2000小时左右,建议更换分子泵油。以后每运转半年时间左右进行一次更换。

        对泵体经常烘烤、工作气载大、气体中含有悬浮颗粒等使用情况下,建议缩短更换时间。

  3)分子泵油的用量

       不同泵型分子泵油用量不同,一般说明书中会给出分子泵油用量说明。分子泵油杯上有刻度。

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