涡旋干式真空泵相关技术和安全使用问答(3)

Q：涡旋干式真空泵安装地点要求？

A：涡旋干式真空泵的安装应满足下述要求：

①平面放置

②避免阳光直射

③环境温度5～35 ℃；湿度90%，或没有结露

④通风良好

⑤泵附近不得存放化学品或易燃品

⑥防潮

⑦泵周围环境易于对泵进行清理检验。

Q：涡旋干式真空泵与电源连接的注意事项？

A：◇检查确认此泵电源接地良好。

◇检查确认此泵电源为要求值。

◇在此泵与真空室之间安装保护开关。

Q：涡旋干式真空泵与电源连接步骤？

A：①打开电机接线盒，将电源线与接线柱连接。

②电源线应当为达到或超过直径1.25毫米四芯电缆。具体参见使用说明书。

③有的涡旋干式真空泵电机内部无热保护器，一定要安装保护开关，推荐为额定电流低于10A。具体参见使用说明书。

④确认此泵从电机方向看顺时针方向转动。打开进气与排气口。打开电机开关起动电机2-3秒。检查确定进气口抽气。如果电源线连接错误，将从排气口进气。

Q：涡旋干式真空泵排气注意事项？

A：◇涡旋干式真空设计用于抽大气不要用此泵抽特殊气体，如易燃气体、含国家特殊化学品规定成分的特殊或高浓度强酸强碱性气体、或半导体工艺中高浓度气体、有机溶剂、结晶气体等。

◇不要用此泵抽灰尘。抽灰尘时，一定加滤网。

◇不要刮碰进气口与排气口法兰

以免损坏法兰口，导致真空度上不去。如果真空度上不去，更换法兰。

◇在进气口装进气阀

真空泵停止后进气口处真空度降低，是因为排气口处的大气返至进气口处，不是真空泵的原因。如要保证真空室内的真空度，要在真空室与泵之间安装真空阀。