多级罗茨真空泵的构造与工作原理

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)东北大学 作者:杨乃恒

        罗茨型真空泵的工作原理和构造, 基本上和罗茨鼓风机相似。这种工作原理很早就被真空泵应用了。普通的单级和双级罗茨泵做为油封式机械泵的增压泵使用居多, 故称为机械增压泵。

三段罗茨真空泵 

图1 三段罗茨真空泵

         而现在干式罗茨泵是直接排大气的, 在一根轴上安有3~5级的罗茨型转子, 如图1 所示, 它为三级罗茨泵的构造, 各级转子由中间壁来隔离, 形成各级的泵腔,上一级的排气口连到下一级的进气口,各级串联应用,各级转子的直径和形状是相同的, 而各级转子的宽度有时是不同的, 向高压侧方向变窄了。为了增加压缩比, 使用图2 所示的气冷式三叶转子,但抽速不如两叶转子为好。

三叶罗茨泵的抽气原理 

图2 三叶罗茨泵的抽气原理

           这种泵的无油程度和爪型、螺杆型的干式泵基本相同,为了防止轴承和齿轮的润滑油向泵腔内返流, 多级罗茨泵的泵腔和齿轮箱之间隔开或用迷宫式结构加以密封,为了提高无油的程度,齿轮箱也有另外用真空泵排气的情况。3~6级的罗茨泵可从大气压抽到极限压力1Pa,高压段有用气冷转子的结构,已有抽速为60~500m3/h 的系列产品出售。

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