微型离子泵抽速测试结果及误差分析(2)

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)清华大学电子工程系 作者:梅国强

抽速测量误差分析

1、测量误差

         设函数y=f(u1,u2, ⋯,un),u1,u2, ⋯,un的标准误差分别为σu1,σu2, ⋯,σun,则y 的标准误差为:

 

2、测试室放气产生的误差

          由图2 可以看出,流入微型离子泵的气体包括两部分:一部分是通过标准流导进入微型离子泵的气体,其大小为C(P1-P2);另外一部分是测试室压强为P2时器壁放出的气体,其大小为QP=P2。因此当测试室压强达到稳定时有SP2=C(P1-P2)+QP=P2。图7 是关闭微型离子泵后测试室在不同本底下的放气曲线。由该图可以看出,在压强较低的情况下,放气对抽速的影响比较大;在本底压强5倍以上,测试室的出气就可以不考虑了。

 

图7  测试室出气曲线

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