冷凝泵的常规维护保养(2)

2009-03-17 李小宁 华越微电子有限公司

6 压缩机活性碳吸附器的交换

        应定时更换, 且换后要注意检查He气压, 并及时进行检漏。

7 充He气(纯度:99.999; 压力:18kg/cm2)

        充He 气时, 手拿的He管应做自冲洗(一堵一放的反复5次)。并且, 在拧接头时, 不能一下子拧紧, 应先慢慢拧, 以彻底清除接头内的空气。

        注: 若压缩机He气有泄漏, 则应先对压缩机抽真空(用2.5Lös 真空泵)后, 再充He 气。

其它相关:

  1. 冷凝泵的内部构造特点
  2. 冷凝泵的基本原理与制冷过程