分子泵保养与使用和维修手册
时间:2008-01-12 19:58:38 来源:网络收集 作者:真空技术网整理
1．高真空接口 60．球型轴承
2．前级真空接口 61．半径方向防震垫圈
3．冷却水连接 63．轴向防震垫圈
4．排气接口 64．电视单元
5．电气连接 65．0-圈
6．橡胶底座 72．0-圈
10．转子 73．0-圈
10 a．转子中心毂 80．锁紧著
14．安装螺帽 81．0-圈
16．USIT接头 82．润滑油包
58．螺丝 83．0-圈
59螺帽 84．油包安装环
二、分子泵的清洗：
一般来讲，如果说前级泵没有问题，而真空在规定的时间内没有达到规定的真空值或者有漏气（排除其它的漏气）、或着解吸附作用降低，说明真空泵有点脏了，需要进行清洗，这时不用进行拆卸就可以直接进行清洗，如果太脏的话，就必须进行拆卸清理了。直接清洗的方法如下：
1．关掉分子泵，进行排气。
2．从机器上拆下分子泵，注意不要碰到接口的边缘部分。
3．拆掉冷却器、加热器（如果有的话）等
4．拆掉润滑的油包
5．将分子泵的高真空接口朝下垂直地放入一个适合的容器中。
6．往容器中用人无水酒精，高度以前级真空接口略低为宜，如下图。
6．往容器中用人无水酒精，高度以前级真空接口略低为宜，如下图。
7．上下活动分子泵几次，便于分子泵的定子和转子的叶片清洗，在无水酒精中浸泡大概5～10分钟。
8．换掉无水酒精，加入新的无水酒精，重复前面的工作，最少要重复一次。
9．拿出分子泵。
10．将高真空接口朝上，从垂直慢慢放倒到180度，以便排除磁性轴承中的酒精。
11．用一个网格放在高真空接口上，然后朝下放置，利用一个泵抽大概30分钟左右。注意接口的密封表面不要损坏。
12．接上前级真空泵，不要开分子泵，利用前级泵抽真空，达到大概10E－1左右，以便完全清除分子泵中残留的无水酒精。
13．更换真空泵中的真空油，接上分子泵开始工作。
注意第一次抽真空时是比较慢，这是因为分子泵中有残留的酒精，属于正常情况，不必忧虑。
三、驱动马达的检查
驱动马达的检查可以用两种方法，一个是带带驱动单元TCP时用示波器看波形。一个是不带驱动器检查线路。
带驱动单元TCP的方法操作，这里要注意一点，就是探针式的霍尔传感器是没有0电位的，所以在用示波器的时候将0V线拔掉。切记不要同时查看B1-B4、B2-B3的波形。下面是在全速旋转时检测到B1-B4或B2-B3波形。
在不带驱动单元的检测方法，这个办法主要是检测、测室外部的接线和内部的适配器。
检查的时候请参考下图：
图中的标号在外部表现的颜色为：
在霍尔元件的G、F之间加上一个40MA的恒定电流，在B1-B4或B2-B3之间接入示波器或万用表。然后用手转动分子泵。如果正常的话，测室出来的电压的极性每周会变化一次。
四、更换轴承
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