ICF(ConFlat Flange)真空法兰盘(2)
ICF(ConFlat Flange)真空法兰盘特点
法兰盘不分雌雄,可在超高真空领域使用。包括铜垫圈在内全部由金属构成,因此可以承受高温烘烤。缺点是价格高,铜垫圈不能多次重复使用。
ICF(ConFlat Flange)真空法兰盘的安装
因为铜垫圈被挤压后变形,用均等力量扭紧螺钉非常重要。如果某一个螺钉扭得过紧,会使对角位置的法兰盘翘起,以至于漏气。上螺钉的力量大约如下:M4螺钉20kgf.cm,M6螺钉70kgf.cm,M8螺钉100kgf.cm
ICF(ConFlat Flange)真空法兰盘铜垫圈的再利用
用过一次的铜垫圈会有压痕,不鼓励重复使用。因为如果出现漏气则会浪费很多时间。
ICF(ConFlat Flange)真空法兰盘烘烤温度
可承受250度的烘烤温度。
注意刀口
一旦刀口部分有伤,原则上必须更换。