KM热沉检漏方案与过程及结果(2)

2008-11-16 王轩 北京有色金属研究总院

       根据以上原则, 以及被检设备本身的要求,必须选用高灵敏度且迅速的检漏方法, 同时又考虑到粗检和热沉管道的特殊情况, 所以选用气泡检漏法和氦质谱检漏仪检漏法为主要的检漏方案。

① ZPH- 30B 型氦质谱检漏仪具有极高的灵敏度, 极快的反应时间, 目前, 该仪器灵敏度已经达到10- 10 Pa·m3/s 量级, 仪器本身的反应时间小于3 s, 最小可检漏率1.9×10- 12 Pa·m3/s, 满足管材检漏要求。该仪器操作简单. 启动快, 不需要液氮, 可加快检漏速度和节省费用。

② 检漏系统的管道都用不锈钢管, 保险丝密封。连接用金属软管和橡胶密封, 彻底杜绝橡胶管和真空黑泥使本底偏高和不稳定等弊病, 极大地消除了误检的可能性。

③ 辅助真空系统选用FB- 450 型分子泵做主泵, 它工作压力宽, 抽速稳定, 启动快, 一般4 min 左右达到满抽速, 缩短抽空时间, 可大大提高检漏效率。更重要的是可抽到10- 2 Pa 以下,使热沉内表面的出气率降低几倍到10 倍, 因而检漏时分流阀可关闭, 氦气全部通过仪器, 系统的最小可检漏率等于仪器的灵敏度,即qmin=Qmin。

④ 被检件从管材开始进行仔细的清洁处理,减少了被检件内表面的出气率, 从而提高了检漏灵敏度。组片热冲击后立即检漏, 其效果更佳。

⑤ 全部采用氦罩法, 喷吹法仅用于确定漏孔位置。检漏时塑料薄膜氦罩抽空贴紧被检件后充氦气, 充到氦罩鼓起来为止。氦罩内氦的浓度达到95% 以上。

⑥ 每次改变检漏工作状态或同一状态(如管材) 上下班时都要在被检件最远端标准漏孔标定该检漏状态下的实际可检漏率和反应时间, 保证检漏的有效性, 消除漏检的可能性。

⑦ 检漏系统专门配置了一台5 kVA 的稳压电源, 极大地排除了加工现场电压波动的干扰,降低了本底噪声, 从而提高了可检灵敏度, 更避免了误检。

 

检漏系统示意图

 

     检漏结果与讨论检漏系统如图4 所示, 其中: l 为被检件; 2为φ40CH 超高真空阀; 3 为中真空电离计; 4 为复合真空计; 5 为旋片泵; 6 为分子泵; 7 为蝶阀;8 为充气阀; 9 为检漏仪; 10 为压力计; 11 为氦气瓶; 12 为校准孔; 13 为氦气罩。

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