氦质谱大气累积检漏法不确定度初步分析

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)北京卫星环境工程研究所 作者:师立侠

氦质谱大气累积检漏法不确定度初步分析

师立侠,闫荣鑫,冯 琪,窦仁超

(北京卫星环境工程研究所,北京5142 信箱46 分箱 100094)

  摘要:本文详细介绍了氦质谱大气累积检漏法的基本原理。对实际采用的氦质谱大气累积检漏法测试过程的不确定度影响因素从检漏口压力、检漏仪、放样时间和收集室的材料等方面进行了分析,并提出了解决措施。本文的研究结论可以为氦质谱大气累积检漏法的工程应用提供参考。

  关键词:氦质谱;检漏;误差

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