电真空器件的气密性检测时的注意事项

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)高功率微波源与技术重点实验室 作者:李丽萍

  电真空器件的气密性检测时会受到很多因素的影响,本文论述了温度、临时密封材料(酒精、真空封泥、橡胶件)和设备材料吸附等因素会带来的电真空器件的气密性检测的测量误差。

1、温度

  环境温度对漏孔的漏率有很大的影响,工件温度与室内温度一致时进行检漏效果最佳。温度对于漏孔几何尺寸和气体特性的影响都将改变漏率大小。漏孔通道的几何尺寸会随温度变化,同一个漏孔在不同的温度下,其漏率值是不一样的。按国家标准GB/T 12604.7-1995 规定,标准漏率的温度是25 ℃,否则,真空技术网(http://www.chvacuum.com/)认为就应该对漏率值作相应修正,公式如下:

Q=Q1T/T1 (12)

  式中:T 是标准漏率规定的温度(25 ℃所对应热力学温度),T1 是被检件的实际检测热力学温度,Q 是被检件的标准漏率,Q1 是被检件在T1 时的漏率。

2、临时密封污染

  被检件与辅助模具、检漏仪连接处,一般采用真空橡胶垫、橡胶圈、橡胶管、橡胶塞、酒精、真空封泥等进行密封处理。检漏过程中,零部件需要多次与真空封泥接触。真空封泥虽然可以被汽油溶解,但仍会有少量封泥进入被检件,如密封狭小腔体,不易发现和取出,成为潜在放气源,严重影响电真空器件的性能。酒精、汽油在高温下分解成CO2、CO、CH4、H2 和水蒸汽,其化合生成的有机物也是污染源。因此,检漏完毕后一定要彻底检查清理被检件。

3、材料的吸附

  真空管道阀门、橡胶密封件属于吸气材料,使用时间越长,氦气等杂质气体吸附越多,检漏时被吸入质谱室会产生表面沉积物等污染,导致氦本底过高,仪器不稳定,达不到检漏精度要求易造成漏检。因此,需经常进行除氦处理,清洗质谱室表面。

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  3、电真空器件的常用检漏方法

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  4、电真空器件的气密性检测时的注意事项

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