固定流导法校准真空漏孔方法研究(3)
从表1可以看出，固定流导法流量计提供的标准气体流量在1.554×1 0-10~1.478×10 -5Pa·m3/s范围时，四极质谱计测量的He离子流在3.050×1 0-11～3.950×10-6 A之间，标准气体流量与四极质谱计测得的离子流之比的最大偏差为38%。这说明在漏孔校准过程中，要尽量保证流量计提供的标准流量与被校漏孔漏率相同或相接近，以便消除四极质谱计非线性引人的不确定度，选择固定流导法校准真空漏孔，就是为了消除此项测量不确定度。
6.3、真空漏孔的校准
在真空漏孔校准时，关闭阀门4，打开阀门3，可将流量计流出的气体季引人到质谱分析室，用四极质谱计测被量了质谱分析室中各气体成分离子流的变化，结果如图4所示。
图4流量计流量引人前后质谱分析室气体离子流的变化图
从图4可以看出，流量计进气后He离子流瞬间增大了约3个数量级，其他气体的离子流没有发生变化，说明流量计提供的气体很纯，流量计的漏放气对实验的影响很小。另一方面，四极质谱计对He的反应迅速、灵敏，并很快达到平衡，这说明采用固定流导法校准真空漏孔，具有简单、方便、效率高等优点。
根据4.2 所描述的真空漏孔校准方法，对1只薄膜渗氦型真空漏孔进行实际校准，校准结果见表2所列。
校准共进行了6次。校准过程中没有进行温度控制，温度最大变化约为2℃，温度对测量结果影响较大，漏孔漏率的平均值为2.52×10-8 Pa· m3/s，相对实验标准偏差为1.2%，如果严加控制温度，则可以减小实验标准偏差。
7、固定流导法校准真空漏孔不确定度评定
将式(4)改写成式(6)
（6）
根据测量不确定度的评定方法，由式(6)得到式(7)一式(10)
由于各分量是独立不相关，所以U上各不确定度分量合成得到式(11)
(11)
式(11)中 右边第一项为小孔流导的测量标准不确定度分量，由第5节可知其值为1.1%。第二项由电容薄膜规测量稳压室压力引入，查电容薄膜规校准证书，其标准不确定度为1.8%。
在实际校准过程中，要求IL与Is相接近，Is比I0大2个数量级，所以第三项的分母值为1，分子
