真空漏孔的校准方法——变容变压法

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)兰州物理研究所 作者:孟 扬
  美国Martin Marietta Energy System公司避开定容变压法和恒压变容法的技术难点,采用变容变压的方法,对10-1~10-12mol/s范围内的真空漏孔进行测量,自称测量误差为±5%。

  图4示出变容变压法结构示意图,图5给出它的测量过程中的压力变化曲线图。测量前,校准室(V和Vu,)抽真空;开始测量时,关闭阀门Y1和Y2;在t1时刻,Vu内压力上升至P1,可由式(6)得到。关闭阀门Y3,打开阀门Y2;如果等待Vu内压力再次恢复至P1(t3时刻),则为增加固定体积的恒压变容法。在此,可以在t2时刻就测量Vu内压力P2的值,可由式(7)得到。真空漏孔的漏率由式(6),(7)联立,可以得到式(8)

QL =p1Vu/(RT t1)  (6)

QL =P2(Vu+V)/(R T t2) (7)

QL =P1P2V/[RT(p1t2-P2t1)]  (8)

  这是不很精确的,却是效率较高的实用方法。用它校准真空漏孔时,不必准确测量较难测量的Vu,也不必等待较长的时间,但是式(6)和式(7)都是在无吸、放气作用的理想条件下得到的,故实际应用时对吸放气的影响需要认真研究解决。

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