真空漏孔的校准方法——定容变压法

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)兰州物理研究所 作者:孟 扬

  将从真空漏孔流出的气体引人到一封闭容器中,在温度、体积恒定不变的情况下,真空漏孔的漏率可以通过测量容器中气体压力的变化率△p/△t,体积V,温度T而得到


QL =( V/ RT ) (△p/△t)  (4)


  如果在测量过程中,容器中气体温度变化△T,△p,△t,V 和T的测量误差分别为δ(△p),δ(△t),δV,和δ△T,则真空漏孔的漏率测量误差δQL为

  式中P为测量过程中容器内气体压力的平均值;q是校准室内表面的吸放气率。

  在这种方法中,校准室的容积必须准确测量。由于每一支被校准的真空漏孔封接到校准室上后,它对校准室的容积的贡献都不一样,即使进行修正,也会带来一定的误差。因此,校准室的容积不能太小,一般需大于2×10-3 m3

  校准室内表面的吸放气作用对漏率的测量影响很大,因为吸放气是随时间而变化的,所以即使对本底进行修正,也仍然有较大的误差。因此实际测量前需要足够长的时间使其达到平衡。还要注意测量时不能使容器内的压力太高,以免改变真空漏孔的漏率。

  定容变压法适于测量漏率较大的漏孔。美国真空学会曾经在1968年将这种方法定为5×10-10~5 × 10- 8 mol/s范围内的真空漏孔校准的美国真空学会标准。

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