常用的几种氦质谱检漏方法(2)

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)第二炮兵工程学院 作者:孙新利

2.1、充氦法氦质谱检漏方法

         充氦法也称负压法 ,如图7 所示,一个密闭的气室连接真空泵和氦气罐,将被检零件装入一个气室,开始关闭氦气罐阀门,机械泵把气室先抽成真空,然后关闭真空泵阀门,打开氦气罐阀门给气室充氦,并静置一段时间。被氦气包围的小器件上如果有漏隙,氦气就慢慢充入小器件内部。然后将气室打开,取出被检器件,用压缩空气吹掉其外表面可能吸附的氦。

给检验试件充氦气

图7  给检验试件充氦气

用检漏仪检验试件漏率 

图8  用检漏仪检验试件漏率

   再把这些器件逐个(或成组) 地装入接在检漏仪进气法兰处的容器中,把此容器抽空后打开节流阀,这时原先进入被检器件的氦又会经过漏孔放出来,检漏仪就会给出漏率响应。如果采用ZHP230 氦质谱检漏仪,仪器可以直接给出漏率的数字显示。卫星的整体检漏就是可以用这种方法,如图9所示,将卫星放入大型环模室中,利用环模设备的真空系统将环模抽成真空,先用辅助泵进行粗抽和预抽,在检漏时先通过机械泵将卫星及充气管道抽成真空后,将氦气充入卫星中,压力保持和卫星工作的压力一致,最后开启氦质谱检漏仪用标准漏孔校准仪器,就可以直接测量卫星的漏率了。

卫星整体检漏示意图 

图9  卫星整体检漏示意图

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