真空器件排气玻璃封接工艺研究(2)

来源:真空技术网(www.chvacuum.com)中国工程物理研究院电子工程研究所 作者:马迎英
[3],如图3(b)。因白色微泡群和石英变体的存在会影响玻璃封接的气密性和产生结构应力,所以会影响到真空器件的研制、生产的顺利进行,应予以足够重视。

2、真空器件制作过程中玻璃不透明现象解决

2.1、第一类玻璃不透明现象的解决

  第一类玻璃不透明现象,即封接处点状玻璃不透明。通过封接时采用弱氧化火焰(通常称为较软火焰或软火焰)烧制玻璃或强氧化火焰(通常称为硬火焰)短时间烧制玻璃,可有效避免此类玻璃不透明现象的发生。对于已产生的玻璃不透明点可通过使用玻璃棒粘除[2],重新烧熔后鼓气的方法解决,比之图1 情况有根本性改善,效果良好,如图5(a)、(b)所示。

2.2、第二类玻璃不透明现象的解决

  第二类玻璃不透明现象,烧制区域成片状玻璃不透明现象即“玻璃失透现象”。通过尽量选用较新的玻璃管材或试烧的方法,可有效避免此类玻璃不透明现象的发生。对于已产生的片状玻璃不透明现象,可先采用将泡入食盐水的石棉布包裹在玻璃上同时烧制的办法予以较好的解决,即盐馈法[2],如图6(a)、(b)所示,比之图2 情况有较大改观。在盐馈法无法解决的情况下,只有更换玻璃管材或玻璃零部件重新封接[2]。

2.3、第三类玻璃不透明现象的解决

  第三类玻璃不透明现象,玻璃封接后烧制区域带状玻璃不透明现象,通称“玻璃乳化现象”。玻璃管材制作时厂家可用降低白砒(As2O3、As2O5)的引入量,降低到0.3%同时补充0.2%的Sb2O3 作为澄清剂,即可有效避免封接时此类玻璃不透明现象的出现[3]。对于此类玻璃不透明现象,用尽量减小封接过火区域,可有效减少(小)带状玻璃不透明现象,如图7 所示,比之图3 情况有改观,但不能完全避免,有待进一步研究分析。

3、小结

  通过以上分析,对真空器件的研制、生产过程中,主要的三类玻璃不透明现象的形成原因有了一定理性认识;并在此基础上提出了一些相应措施,在一定程度上有效解决和避免了玻璃不透明现象带来的工作隐患,保证了真空器件工艺过程的顺利进行,确保了真空器件的研制、生产进度和产品质量。

参考文献

  [1] 胡忠武. 玻璃—金属封接技术[J]. 电源技术.2000,24(5):251- 252.
  [2] 上海玻璃厂. 玻璃仪器灯工实践[M]. 上海:上海科学技术出版社,1975:3- 150.
  [3] 马英仁. 封接玻璃(十一)[J]. 玻璃与搪瓷.1994,22(3):52- 53.

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