真空镀膜设备长时间运行后的维护要点

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  如果真空镀膜设备连续使用6个月以上,真空镀膜设备的抽速将会明显变慢,要如何去维护呢?本文简明扼要的讲述了真空镀膜设备长时间运行后的维护要点。

  首先,必须要冲入大气,拆去联结水管,将一级喷嘴拧出来,再用汽油将泵腔及泵胆清洗一下,再用洗衣粉兑清水洗一遍,待水份挥发干后,装好泵胆,重新加入新扩散的泵油,并装回机体,,便可重新开机。

  真空电镀在重新开机时,要特别注意捡漏工作,先观察扩散泵部分真空度是否达到6*10PA,否则我们要进行检漏。

  检查联接处是否装密封胶圈,或压坏密封圈。

  排除漏气隐患后才可以加热,否则扩散泵油会烧环,无法进入到工作状态。

  当真空镀膜设备抽泵连续不断的工作一个月的时候,我们须重新在更换新油,将泵油内的旧油完全的排放出来。

  然后加入新的泵油至一定量。连续使用半年以上,再换真空泵油时应该将油盖打开,用布擦干净箱内的污垢。

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